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NTIS 바로가기한국공작기계학회 1999년도 춘계학술대회 논문집, 1999 May 01, 1999년, pp.128 - 133
이상직 (부산대 대학원) , 정해도 (부산대 기계공학부) , 이은상 (부산대 기계공학부) , 최헌종 (한국생산기술연구원)
In recent years, LSI devices have become more powerful and lower-priced, caused by a development of various wafer materials and an increase in the diameter of wafers. On the other hand, these have created some serious problems in manufacturing of wafers because materials used as semiconductor substr...
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