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NTIS 바로가기한국정밀공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집, 2002 May 01, 2002년, pp.42 - 45
김상철 (부산대 대학원 정밀기계공학과) , 이상직 (부산대 대학원 정밀기계공학과) , 정해도 (부산대학교 기계공학부)
General wheel mark in mono-crystalline silicon wafer finding is able to be expected because it depends on radius ratio and angular velocity ratio of wafer and wheel. The pattern is predominantly determined by the contour of abrasive grits resulting from a relative motion. Although such a wheel mark ...
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