최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 1996년도 추계학술대회 논문집, 1996 Nov. 01, 1996년, pp.67 - 70
윤상호 (인하대학교 공과대학 전자재료공학과 반도체 및 박막 기술 연구소) , 이제희 (인하대학교 공과대학 전자재료공학과 반도체 및 박막 기술 연구소) , 원태영 (인하대학교 공과대학 전자재료공학과 반도체 및 박막 기술 연구소)
In this paper, the three-dimensional stress effect of thermal oxide is simulated. We developed the three-dimensional finite element numerical simulator including three-dimensional adaptive mesh generator that is able to refine and eliminate nearby moving boundary of oxide, and oxidation solver with ...
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.