최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국진공학회 1995년도 제8회 학술발표회 논문개요집, 1995 Feb. 01, 1995년, pp.41 - 42
노동완 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 이해권 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 이재진 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 박형무 (한국전자통신연구소 반도체연구단) , 김경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
초록이 없습니다.
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.