[논문]RF Induced Bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향

손영호; 박형국; 정재인; 박노길; 황도원; 김인수; 배인호

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[국내논문] RF Induced Bias 전압이 DLC 박막의 특성에 미치는 영향
The Effect of RF Induced Bias Voltage on DLC Thin Film 원문보기

한국표면공학회 1999년도 추계학술발표회 초록집, 1999 Oct. 01, 1999년, pp.73 - 75

손영호 (포항산업과학연구원) , 박형국 (포항산업과학연구원) , 정재인 (포항산업과학연구원) , 박노길 (식품의약품안전청) , 황도원 (알파플러스) , 김인수 (경운대학교) , 배인호 (영남대학교)

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