[논문]ECR-PECVD로 증착된 a-C:H 박막의 열처리 효과

손영호; 정우철; 정재인; 황도원; 김인수; 배인호

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[국내논문] ECR-PECVD로 증착된 a-C:H 박막의 열처리 효과 원문보기

한국진공학회 2001년도 창립10주년 제20회 학술발표회, 2001 Feb. 22, 2001년, pp.147 - 147

손영호 (포항산업과학연구원) , 정우철 (포항산업과학연구원) , 정재인 (포항산업과학연구원) , 황도원 ((주)알파플러스) , 김인수 (경운대학교) , 배인호 (영남대학교)

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