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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 1998년도 춘계학술대회논문집; 용평리조트 타워콘도, 21-22 May 1998, 1998 Apr. 01, 1998년, pp.302 - 307
이홍기 (유니슨산업㈜유니슨기술연구소) , 장강석 (유니슨산업㈜유니슨기술연구소) , 김두훈 (유니슨산업㈜유니슨기술연구소) , 김사수 (부산대학교 조선해양공학과)
In the production of semiconductor wafer, optical and electron microscopes, ion-beam, laser device must maintain their alignments within a sub-micrometer. This equipment requires a vibration free environment to provide its proper function. Especially, lithography and inspection devices, which have s...
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