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LPCVD용 Si Wafer Baot 제조 기술 개발 원문보기

한국소음진동공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집, 2012 Apr. 26, 2012년, pp.360 - 360  

황성식 (SKCsolmics 연구소)

초록
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최근 반도체의 고 직접화와 대형화 추세에 따라 반도체 장비에 사용되는 세라믹 부품도 고기능, 고 신뢰성 및 대형화 되고 있다. SKC solmics는 기능성 종합 세라믹 부품 소재 회사로써 이러한 점에 맞추어 제품 제조 시작 단계부터 고객에 제품이 인도되기까지 불량률 0 %를 목표로 소재 및 가공법을 꾸준히 연구 개발하고 있다. 최근 당사는 그린 에너지 사업 중 태양광 사업을 시작으로 미래 성장 사업 다변화를 위해 신소재 분야에 많은 연구 인력과 자금을 투입 중이며 기존에 진행되어온 사업의 국외 및 국내에서 확고한 위치를 차지하기 위해 활발한 연구 개발이 이루어지고 있다. 본 발표에서는 당사에서 생산되고 있는 제품들을 소개하며 이러한 제품들의 신뢰성 향상을 위해 연구 개발되고 있는 분야를 소개하고자 한다.

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