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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2001년도 추계학술대회논문집 II, 2001 Nov. 01, 2001년, pp.1376 - 1383
이홍기 (선문대학교 기계 및 제어공학) , 김강부 (선문대학교 기계 및 제어공학부) , 전종균 , 백재호
Modem technology depends on the reliability of extremely high technology equipments. In the production of semiconductor wafer, optical and electron microscopes, ion-beam, laser device must maintain their alignments within a sub-micrometer. This equipment requires a vibration free environment to prov...
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