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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2000년도 추계학술대회논문집, 2000 Nov. 16, 2000년, pp.643 - 648
정희원 (LG전자 DM 연구소) , 김수경 (LG전자 DM 연구소) , 박건순 (LG전자 DM 연구소) , 오형렬 (LG전자 DM 연구소) , 김진용 (LG전자 DM 연구소) , 신종엽 (한국과학기술원 기계공학과) , 권대갑 (한국과학기술원 기계공학과)
The AFM is an imaging tool or a profiler with unprecedented 3-D resolution for various surface types. The AFM technology, however, leaves a lot of room for improvement due to its delicate and fragile probing mechanism. The distance between probe tip and sample surface must be maintained in below the...
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