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제안 방법
- 또한 제작되어진 가스센서는 SnO2를 주물질로 하고 귀금속 산화물인 WO3와 Pt, Au를 첨가물로 하였으며, 증류수를 바인더로 사용하여 산소분위기 조건으로 500 X:에서 3시간 소성하여 제조하였다. 그림 2에 센서 소자제 작 과정을 나타내었다.
- 그 중 암모니아 가스는 생활환경 내에 존재하는 악취성분일 뿐만 아니라 냉각기의 냉매로 사용되는 가스로서 대기 중 허용농도가 50 ppm으 로 알려져 있다. 본 연구에서는 프린트스크린 인쇄법을 이용하여 SnO2를 모물질로 하여 귀금속 산화물 인 Pt와 Au를 첨가한 암모니아 반도체 가스센서를 제조하여 고 감도 및 SO2, NOx, CH4, NH3, 에 대한 선택성을 분석하였다.
- )센서의 선택성 평가 결과이다. 선택성 평가는 chamber에 대상가스를 약 10 ppm의 수준의 농도로 회석하여 주입하고 이때의 반웅성을 평가하였다. 평가결과 환원성 가스인 SO2와 NOx, CHi, NH3 둥 물질과의 반응성은 NHs의 농도에 대한 반응에 비해 낮은 수준에 머무르고 있어 일반환경 중의 악취가스 평가에 충분한 활용성을 보일 수 있을 것으로 판단된다.
- 그림 1에 본 연구에서 설계한 센서기판의 전극과 히터가 인쇄된 앞면과 뒷면을 나타내었다. 전극간격은 약 0.2 mm, 두께는 약 0.4 mm로 설계하고 gold paste (Dupon 사, 4017)를 이용하여 후막인쇄공정(silk screen printing)으로 만들었다. 또한 온도조절용 히터는 platinum paste(Johnson & Mattey)를 이용하여 저항 약 7±1.
대상 데이터
- 본 연구에서의 가스센서는 먼저 알루미나(AI2O3) 기판의 앞면에는 금으로 된 전극이 형성되고, 그 뒷 면에는 백금으로 된 발열체가 형성되어 있다. 그림 1에 본 연구에서 설계한 센서기판의 전극과 히터가 인쇄된 앞면과 뒷면을 나타내었다.
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