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Wet Station 시스템 개발
system development of Wet Station 원문보기

대한전기학회 2001년도 하계학술대회 논문집 D, 2001 July 18, 2001년, pp.2649 - 2650  

김수용 (한길정보통신주식회사) ,  이오걸 (동의공업대학) ,  김상효 (동의공업대학)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

In this paper, the minimization of particle wit introduction of face to face to face type in cleaning. Easy input and change of parameter Monitoring function of process data in process function of 3 moving axis. Return Tank for Chem : cal solution....

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 논문에서는 평판글라스를 세정을 위해서 기술게발에 요점을 두었다. 무엇보다 기술집약형으로 설계를 하였으며 powrer, CDA Supply D1W Supply Cherrrical, Supply, Paim Exhau이의 기능은 평판디스플레이를 개발을 하기 위해 평판글라스를 세정하는데 효율 95%에 달하는 성과를 거두었다 가능성은 물론이고 DI Water 및 Chemeical의 세정을 디스플레이 분야에서 이용하치 않으면 안된다.
  • 본 논문은 이러한 LCD 및 PDP Cplasema Display pane의 생산을 위해서는 wet station 등 전공정 장비가 필수적이고, 에너지 절학형 기술이다.
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