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자기부상스테이지의 제어에 관한 연구
Configuration control of a magnetic levitation stage. 원문보기

대한전기학회 2003년도 하계학술대회 논문집 D, 2003 July 21, 2003년, pp.2043 - 2045  

남택근 (한국전기연구원) ,  전정우 (한국전기연구원) ,  김용주 (한국전기연구원)

초록
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본 연구에서는 자기부상 방식의 스테이지 시스템 설계 및 제작을 행하고 시스템의 제어성능평가를 하고자 한다. 본 논문에서는 제어성능의 효율성을 향상시키기 위하여 부상체(Platen)의 기계적인 모델링을 행하고 Platen의 PTP(point to point) 및 궤도추종제어가 가능한 슬라이딩 모드제어기를 제안하였다. 제안한 슬라이딩 모드제어기는 모델링 오차 및 외란에 대해서도 강인한 제어성능을 얻을 수 있으며 수치시뮬레이션을 통하여 그 유용성을 확인하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 논문에서는 자기부상 스테이지의 정밀한 위치제어를 위하여 Platen의 기계적인 모델링 및 초기위치에서 목적위치까지의 제어목적을 달성하기 위한 제어알고리즘을 제안하였다. 슬라이딩 모드제어기법을 적용하여 파라미터의 오차 및 외란에 대해서도 강인한 제어특성을 얻을 수 있었고 제어알고리즘의 유용성을 확인 하였다.
  • 본 연구에서는 향후 스테퍼용 스테이지에 적용가능한 초 정민 위치결정기구를 개발하고자 한다. 초정밀 위치결정기 구의 구동방식으로는 크게 피에조 액츄에이터를 이용한 방식과 리니어 모터 (linear motor) 및 공기베어링 (Air bearing)을 적용한 방식으로 나눌 수 있다.
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