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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2003년도 하계학술대회 논문집 Vol.4 No.2, 2003 July 10, 2003년, pp.950 - 952
정호 (영남대학교) , 김홍락 (영남대학교) , 김영덕 (영남대학교) , 정우철 (영남대학교) , 김동수 (영남대학교) , 남효덕 (영남대학교)
This paper have been studied fabrication and characteristics of disposable pH sensor using MEMS technology. The sensor has two open-well structure, the container for the internal electrolyte and electrode were formed by anisotropically etching a silicon substrate. unlike currently used KCI saturated...
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