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NTIS 바로가기한국전자파학회 2003년도 종합학술발표회 논문집 Vol.13 No.1, 2003 Nov. 15, 2003년, pp.163 - 167
이영호 (연세대학교) , 김용대 (연세대학교) , 김지혁 (서울대학교) , 육종관 (연세대학교)
In this paper, an air-suspension type RF MEMS inductor is fabricated, and an appropriate de-embedding scheme for 3-dimenstional MEMS structure is applied and verified with inductance calculation algorithm. With the presented de-embedding method, parasitics from contanct pads and feeding lines are ef...
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