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NTIS 바로가기한국진공학회 2001년도 제21회 학술발표회 초록집, 2001 July 05, 2001년, pp.68 - 69
유정호 (연세대학교 세라믹공학과) , 남석우 (연세대학교 세라믹공학과, 삼성전자 반도체연구소) , 남서은 (연세대학교 세라믹공학과) , 이동원 (연세대학교 세라믹공학과) , 고대홍 (연세대학교 세라믹공학과)
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