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NTIS 바로가기한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회 초록집, 2003 May 01, 2003년, pp.2 - 2
정창현 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) , 이용혁 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) , 이형철 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실) , 최은식 (정밀가공그룹, 생산기술연구원 LG 전자) , 염근영 (성균관대학교 재료공학과 반도체 공정연구실)
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