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NTIS 바로가기한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회 초록집, 2003 May 01, 2003년, pp.4 - 4
박현 (서울대학교) , 황수정 (서울대학교) , 주영창 (서울대학교)
Various Cu films were fabricated using sputtering and electroplating with and without additive, and their surface damages after annealing were investigated. After annealing at 43SoC, the difference between damage morphologies of the films was observed. In some films stress-induced grooves along th...
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