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NTIS 바로가기한국시뮬레이션학회 2003년도 추계학술대회 및 정기총회, 2003 Nov. 01, 2003년, pp.147 - 151
한영신 (성균관대학교 정보통신공학부 컴퓨터공학과) , 최성윤 (성균관대학교 정보통신공학부 컴퓨터공학과) , 김상진 (성균관대학교 정보통신공학부 컴퓨터공학과) , 황미영 (성균관대학교 정보통신공학부 컴퓨터공학과) , 이칠기 (성균관대학교 정보통신공학부 컴퓨터공학과)
Yield enhancement in semiconductor fabrication is important. Even though DRAM yield loss may be attributed to many problems, the existence of defects on the wafer is one of the main causes. When the defects on the wafer form patterns, it is usually an indication for the identification of equipment...
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