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NTIS 바로가기대한기계학회 2003년도 추계학술대회, 2003 Nov. 05, 2003년, pp.922 - 927
권달중 (한양대학교 대학원 기계공학과) , 이도형 (한양대학교 기계정보공학부) , 홍의관 (한양대학교 금속재료공학과) , 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
In this paper, slurry fluid motion, abrasive particle motion, and roles of groove patterns on the pads are numerically investigated in the 2D and 3D geometries. The simulation results are analyzed in terms of experimental removal rate and WIWNU (within wafer non-uniformity) for ILD (inter level diel...
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