[논문]박막 저항체 응용을 위해 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 Cu-Ni 합금 박막의 조성에 따른 특성 연구

허성기; 성낙진; 최규정; 김동진; 윤순길

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[국내논문] 박막 저항체 응용을 위해 마그네트론 스퍼터링 법으로 증착된 Cu-Ni 합금 박막의 조성에 따른 특성 연구
Characteristics of Cu-Ni alloy with concentration deposited by magnetron sputtering for thin film resistor 원문보기

한국재료학회 2004년도 춘계학술발표대회 및 제6회 신소재 심포지엄, 2004 May 14, 2004년, pp.33 - 33

허성기 (충남대학교 재료공학과) , 성낙진 (충남대학교 재료공학과) , 최규정 (충남대학교 나노신소재공학원) , 김동진 ((주) 케이엠씨 테크놀러지) , 윤순길 (충남대학교 재료공학과)

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