[논문]Dielectric, and Piezoelectric Properties of <tex> $Bi_{0.5} (Na{1-x}K_x)_{0.5}TiO_3$</tex> Lead-free Ceramics

Dielectric, and Piezoelectric Properties of $Bi_{0.5} (Na{1-x}K_x)_{0.5}TiO_3$ Lead-free Ceramics 원문보기

두문 (창원대학교 세라믹공학과) , 김명호 (창원대학교 세라믹공학과) , 송태권 (창원대학교 세라믹공학과) , 성연수 (창원대학교 세라믹공학과) , 조종호 (창원대학교 세라믹공학과)

* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

Pt 충의 표면 평 활도를 제 어하기 위해 증착 파워, 압력, 온도를 변화시켰으며 박막의 응력 분석을 통해 이 러한증착 변수들의 영향을 파악하였다. 최 적화된 조전에서 제조된 Pt 박막 상부에 7 nm 두께의 TiO₂ seed layei을 증착하였으며 PbO 가스상 반응 sputtering을 통해 20 nm 두께의 PTO박막을 제조하였다.
Pt 충의 표면 평 활도를 제 어하기 위해 증착 파워, 압력, 온도를 변화시켰으며 박막의 응력 분석을 통해 이 러한증착 변수들의 영향을 파악하였다. 최 적화된 조전에서 제조된 Pt 박막 상부에 7 nm 두께의 TiO₂ seed layei을 증착하였으며 PbO 가스상 반응 sputtering을 통해 20 nm 두께의 PTO박막을 제조하였다. TiO₂ seed layei는 PTO의 핵생성을 위한 active sites를 증가시키는 역할을 하여 페로브스카이트상의 PTO 박막이 쉽게 생성될 수 있게 하였다.

얇은 PTO 박막을 제조하기 위해 Zi 을 buffer layei로 하여 Pt 하부 전극충을 dc-magnetron sputtering 방법으로 증착하였다. Pt 충의 표면 평 활도를 제 어하기 위해 증착 파워, 압력, 온도를 변화시켰으며 박막의 응력 분석을 통해 이 러한증착 변수들의 영향을 파악하였다.

Therefore, lead-free piezoelectric materials such as (BigNaoeTiCh (BNT)-based oxides have been receiving much attention to replace PZT-based ceramics. In this study, the overall characteristics of lead-free Bio.5(Nai.xKx)o.5Ti03 ceramics such as dielectric, and piezoelectric properties were examined in the entire compositional range from x = 0.0 to x = 1.0. From the specimens prepared using a solid state reaction method, the rhombohedral-tetragonal morphotropic phase boundary (MPB) was confirmed by X-ray diffraction.
TiO₂ seed layei는 PTO의 핵생성을 위한 active sites를 증가시키는 역할을 하여 페로브스카이트상의 PTO 박막이 쉽게 생성될 수 있게 하였다. d33 hysteresis loop 과 piezoelectric force microscope (PFM) 이미지를 통하여 증착된 PTO박막의 강유전성을 확인할 수 있었다. Grain boundary 와 강유전체 박막과 하부 전극층 사이의 계면에 존재하는 lattice mismatching, vacancies, space charges 등의 defect들이 사large되어 있으며, 강유전체 도매인들이 이러한 전하들과 balance를 맞주어 안정화되어있어 도매인 스위칭은 쉽지 않았다.
결론적으로 가스상 반응 sputtering 방법을 이용하여 20 nm 두께의 얇고 평활한 PTO박막을 제조할 수 있었으며 이는 고밀도 메모리 디바이스의 가능성을 보여줄 수 있었다.

내보내기 구분	파일저장 인쇄 메일전송
구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 논문명, 저널/프로시딩명, 저자 , 발행년, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, 발행기관 관리번호, 논문명, 대등논문명, 저자 , 저널/프로시딩명, 발행기관, 발행년, 발행언어, 권, 호, 시작페이지, 끝페이지, ISBN, ISSN, 주제분야, 키워드, 초록(한글), 초록(영문), 저자(소속기관)
저장형식	Text(ASCII format) Excel format RefWorks Direct Export RIS format (for Reference Manager, ProCite, EndNote), Scholar's Aids, Mendeley
메일정보	받는사람 (필수) @ 보내는사람 (선택) @ 제목 내용 KISTI 검색결과 이메일 서비스
안내	총 건의 자료가 검색되었습니다. 다운받으실 자료의 인덱스를 입력하세요. (1-10,000) 검색결과의 순서대로 최대 10,000건 까지 다운로드가 가능합니다. 데이타가 많을 경우 속도가 느려질 수 있습니다.(최대 2~3분 소요) 다운로드 파일은 UTF-8 형태로 저장됩니다. 파일의 내용이 제대로 보이지 않을실 때는 웹브라우저 상단의 보기 -> 인코딩 -> 자동선택 여부를 확인하십시오. ~ Text(ASCII format) Excel format

연합인증