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반도체 물류 제어 시스템을 위한 RTLAD(Real Time Look Ahead Dispatcher) 핵심 기법 개발 원문보기

대한산업공학회/한국경영과학회 2004년도 춘계공동학술대회 논문집, 2004 May 21, 2004년, pp.433 - 436  

서정대 (경원대학교 산업정보시스템공학과) ,  구평회 (부경대학교 산업공학과) ,  장재진

초록
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반도체 및 LCD 제조 라인의 물류 제어 시스템을 위하여 시스템의 현재 및 미래의 Look ahead 정보를 사용하고 반송장비의 운반 상황을 동시에 고려하면서 디스패칭(dispatching) 과정을 수행하는 RTLAD(Real Time Look Ahead Dispatcher)를 위한 핵심 기법들을 개발한다. 특히, 베이(bay) 내에서 로트의 가공이 완료 되었을 때 다음 스텝 공정을 위하여 목적지 장비를 실시간으로 결정하는 절차를 제시하며, 동시에 목적지 장비까지의 반송장비를 선택하는 절차를 제시한다. 목적지 장비 결정 과정에서 반송장비의 상황을 함께 고려한다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 조건1과 조건2를 만족하면 고려하는 운반 시간대 내에 운반장비의 다른 버퍼에 미리 계획되어 있는 다른 운반시간대가 있는지 확인한다. 다른 버퍼에 기존의 운반시간대가 있으면 이 운반시간대와 새로운 운반시간대와의 연결 가능 여부를 확인한다. 연결이 가능하면 새로운 운반시간대에 대하여 조건1, 조건2를 다시 확인하고 연결 유형에 따라 기존의 운반 시간대에 필요한 연결 조건들인 연결조건1, 연결조건 2를 검사한다.
  • 선택 대상이 되는 로트는 이전 공정 장비들로 이루어진 그룹 내에서 현재 가공중이거나 또는 stocker 내에서 현재 대기 중인 로트이다. 본 논문에서는 동일한 기능을 가진 장비들이 그룹을 형성하고 있는 제조 환경에서 look ahead 정보를 홭용하여 unload request 및 load request를 처리하는 로직을 개 발한다. 이때 mtra-bay 또는 구역 내의 반송에서 AGV 등과 같은 반송장비에 대한 가용성 및 미래 계획도 함께 고려한다.
  • 본 논문은 반도체 및 LCD 제조라인에서 look ahead 정보를 이용하여 실시간 디스패칭을 수행하는 핵심 로직들을 개발, 제시하였다. 이를 위한 절차들로서 로트의 목적지를 결정하는 MSP(Machine Selection Procedure)와 반송 장비의 상황을 고려하여 로트의 운반장비를 결정하는 VSP(Vehicle Selection Procedure)를 개발하여 통합 적용하였다.
  • 본 논문은 유사한 기능을 가지는 동종의 장비들이 그룹을 형성하고 있는 반도체 및 LCD 제조라인에서 설비의 현재 및 미래 정보를 이용하여 실시간 디스패칭을 수행하는 핵심 로직들을 개발하고 그 효과를 보인다. 이를 위한 절차들로서 로트의 목적지를 결정하는 MSP (Machine Selection Procedure)와 로트의 운반 장비를 결정하는 VSP(Vehicle Selection Procedure) 를 개발한다.
  • 여부를 결정한다. 이를 위하여 기존 운반 시간대와 새로이 삽입되는 신규 운반시간대가 서로 연결이 가능한지의 여부를 판단한다. 두 개의 운반시간대가 서로 연결이 가능하기 위해서는 다음의 두 가지 조건이 만족되어야 한다.
  • 조건1과 조건2를 만족하면 고려하는 운반 시간대 내에 운반장비의 다른 버퍼에 미리 계획되어 있는 다른 운반시간대가 있는지 확인한다. 다른 버퍼에 기존의 운반시간대가 있으면 이 운반시간대와 새로운 운반시간대와의 연결 가능 여부를 확인한다.
  • 현재 베이 내에서 가공중이며 미리 예약된 목적지가 없는 상태에서 look-ahead에 의하여 완료 시간이 알려져 있는 〃개의 로트들 중에서 임의의 로트 j, j=l, ..., n 를 생각해 보자. 로트 j 의 가공완료시간을 tQ라고 하면 로트 j는 尸弓에서 다음 공정을 위하여 N0M 그룹 내에서 목적지 장비를 선정한다.

가설 설정

  • (i) 경로 연결: 가용시간대 [H, T2] 내에서 기존 운반시간대들 중 하나와 신규 운반 시간대의 경로가 연결된다. 지금 r(IK)을 风의경로라고 하면 r(IFz) 匚 r(Wa), 또는 r(IK) 匚 r(盼이면 두 운반시간대 咋과 叽는 경로가 연결된다.
  • (ii) 기존 운반시간대와의 비중첩: [Tl, T2] 내에서 신규 운반시간대와 연결된 기존 운반 시간 대외의 다른 운반시간대와는 중첩되지 않는다.
  • 지금 로트 乙이 운반장비 G에 의해 S에서 D 로 운반된다고 가정하고 로트 乙의 새로운 운반 시간대 J化이 가용시간대 区1, T2] 내에 삽입되는 경우를 생각해 보자. 竹이 \T\, 72] 내에 삽입될 경우 J灸의 후행 운반시간대들 중 가장 빨리 시작되는 후행 운반시간대를 仍라 하고시작시간을 72라고 하자.
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