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NTIS 바로가기한국정밀공학회 2005년도 춘계학술대회 논문집, 2005 June 01, 2005년, pp.1186 - 1189
김경석 (연세대학교 기계공학부) , 정재원 (연세대학교 기계공학부) , 민병권 (연세대학교 기계공학부) , 이상조 (연세대학교 기계공학부) , 박철우 (한국산업기술대학교 기계공학과) , 이종항 (한국산업기술대학교 기계공학과)
Focused Ion Beam machining is an attractive approach to produce nano-scale 3D structures. However, like other beam-based manufacturing processes, the redeposition of the sputtered material during the machining deteriorates the geometric accuracy of ion beam machining. In this research a new approach...
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