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제안 방법
- p data-page="1">본눈문에서는 비구면 렌즈의 형상 측정과 이 데이터를 이용하여 렌즈금형 코어에 보정 적용을 함으로, 최종 렌즈형상오차의 성능을 향상시키는 결과를 얻었다. 일반적으로 공학표면(engineering surface)은 공간영역(spatial domain)에서의 파장의 길이에 따라 긴 성분부터 형상오차(Form Error), 파상도(Waviness), 표면거칠기(Surface Roughness)로 구분된다.
대상 데이터
- 접촉식 측정의 경우 공간영역에서의 측정주기(Sampling Interval)를 수 μm로 할 수 있으며, 광축 방향 측정 영역도 약 12mm까지 가능하여 보정용 데이터로 사용하기에 충분하다. 렌즈 보정을 위해서는 이러한 접촉식 측정 에 의한 측정데이터를 이용하며, 측정 데이터 중 표면 거칠기 성분을 제외한 파상도 및 형상 오차 성분을 보정 데이터로 이용을 한다.
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