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인공 신경회로망을 이용한 Multi-Spinner의 생산 공정 최적 스케줄링에 관한 연구
A Study on Optimal Scheduling of Multi-Spinner's Manufacturing Process Using Artificial Neural Network 원문보기

한국지능시스템학회 2008년도 춘계학술대회 학술발표회 논문집, 2008 Apr. 25, 2008년, pp.157 - 160  

조용철 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ,  조현찬 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ,  김종원 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ,  장량 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ,  전흥태 (중앙대학교 전기전자공학과)

초록
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Multi-Spinner 장비는 반도체 제조공정과정 중 Photo공정에서 노광(Exposure)공정을 제외한 PR 형성공정 및 현상(Development)을 수행하는 복합적인 장비이다. 이 복합적인 Multi-Spinner 장비의 각 수행 과정에서는 웨이퍼를 이동 작업하는데 있어서 이동경로를 최적 스케줄링 한다면 반도체 생산량 향상에 크게 도움이 된다. Multi-Spinner 장비내의 각 공정과정들은 PR 형성공정 및 현상 공정 순서에 맞게 순차적으로 진행되며, 이 과정들을 위해 이송 로봇이 순차적으로 웨이퍼를 이동하며, 이 과정에서 일정의 대기시간이 발생하게 된다. 대기시간을 줄이기 위해 C/S 유닛에 담겨 있는 수십 장의 웨이퍼들을 다음 공정으로 이송 시 이동경로의 최적 스케줄링이 필요하다. 본 논문은 스케줄링 문제를 풀기 위해 인공 신경회로망(Artificial Neural Network)을 이용한 최적 스케줄링 방법을 제안한다.

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 본 논문에서는 Multi-spinner 의 유닛 중 C/S 슬롯에 담겨 있는 웨이퍼 이송 시 최적 스케줄링을 위해 해결방안을 제시 하였다. 본 논문에서는 일반적인 계산으로 제안된 방법의 효율성을 입증하였지만 향후 홉필드 신경망 기법을 통해 컴퓨터 시뮬레이션의 최적 스케줄링 문제를 해결할 것이다.
  • 본 논문에서는 스케줄링 문제를 풀기 위해 기존의 계산 구조와는 다른 병렬구조의 이점 등을 가져 복잡한 계산을 가능하게 하는 인공 신경망(Artificial Neural Network)을 이용하여 최적 스케줄링 방법을 제안한다. 논문의 구성은 다음과 같다.
  • 계산한 결과 이다. 표에서 보면 공정이 완료된 5번째 웨이퍼 시간은 특히 주목해서 보아야 할 부분이며, 이 논문에서 제안하는 문제점을 이야기하고 있다.

가설 설정

  • 가정 1) 임의의 C/S 슬롯과 공정 사이 수행 경로는 직선 경로이다.
  • 가정 2) 모든 공정을 수행한 후 이송 로봇은 처음 줄발점인 0으로 귀환한다.
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