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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회, 2005 Sept. 01, 2005년, pp.170 - 174
설용태 ((주)에이티에스) , 이의용 ((주)에이티에스) , 남형진 (선문대학교 전자공학과) , 조남인 (선문대학교 전자공학과) , 차경환 (선문대학교 전자공학과)
본 연구는 산업용과 의료용에 사용되는 비파괴 검사용 X 선 영상시스템에 이용되는 X 선을 직접 감지하는 방식의 센서를 실리콘 반도체 재료를 사용하여 개발하는데 목적이 있다. 이를 위해서 실리콘 반도체를 기본 물질로 하는 X-선 센서를 제작하고, 광범위한 영역에서 응용이 가능한 비파괴 시험용으로 제품화하기 위해 센서 어레이와 주변회로 및 구동회로 시스템과의 연관기술을 검토한다.
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