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6축 구동 Stage 응용 원문보기

한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회, 2006 May 01, 2006년, pp.232 - 243  

강흥석 (오에프티(주)) ,  박노선 (우리마이크론(주)) ,  이우영 (한국기술교육대학교) ,  정준영 (한국기술교육대학교)

초록
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6자유도계를 실시간 해를 풀 수 있는 이론을 배경으로 실제 여러 형태로 제작이 시도 되고 있다. 기구적인 간단함은 있지만, 비선형적인 6개의 축을 실시간 수식적으로 풀어낸다는 것은 쉽지 않다. 실제현장에서 설계에 적용시키기 위해서는 시뮬레이터를 개발하여 대면적, 고 하중용 등 다양한 스테이지 계를 쉽게 적용할 수 있어야 한다. 본 논문은 대면적용 스테이지 계를 적용하면서 문제점들을 고찰해 보고자 한다.

AI 본문요약
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* AI 자동 식별 결과로 적합하지 않은 문장이 있을 수 있으니, 이용에 유의하시기 바랍니다.

문제 정의

  • 모멘트는 전달되지 못한다. 각 실린더에 걸리는 힘을 라고 하고 6 개의 실린더에 의해서 발생하는 합성력을 구해보자. 여기서 힘과 모멘트는 움직여진 좌표계의 원점을 원점으로 하고 회전되어 있지 않은 좌표계 즉 방향은 공간 고정 좌표계와 같고 원점만 Deck 의 원점과 일치시킨 좌표 계에서의 힘과 모멘트이다.
  • 단일 운동모드의 최대 운동변위를 알아보자. 여기서의 최대 운동변위는 실린더 중 하나 이상의 실린더 길이가 최소가 되거나, 최대가 될 때까지의 운동변위를 뜻한다.
  • 이러한 해답을 실제 설계에 적용하고자 한다. 논문에서는 이러한 문제들이 실제 설계 제작 시 이상의 한계치들에 대한 예측의 필요성이 요구 되는바 각기 다른 구조, SIZE 를 대응하기 위한 Stewart 플랫폼의 고찰과 시뮬레이터용 프로그램을 개발과 검증이 필요하다는 점에서 이야기 하고자 한다.
  • 상부 plate 위에 중량물이 얹어지므로 가장 먼저 생각해야 할 것은 Heave 에 대한 Stiffness 이다. 실린더가 최대로 수축했을 때의 Stiffness 가 가장 작을 것이므로 이때에 대해 생각을 하여보자. Heave 의 Stiffness 는 LM]N 이 작을수록, 또 RB 가 클수록 작아진다.
  • 여기에서 유도한 비선형 방정식은 6 개의 미지수만을 가지고 있고, 또한 삼각함수나 초월함수가 사용되지 아니하고 순수하게 더하기 빼기 곱하기 나누기와 제곱근함수만으로 이루어진 방정식으로 계산 시간이 작게 소요되어 실시간으로 해를 구할 수가 있게 되었다. 이러한 해답을 실제 설계에 적용하고자 한다. 본 논문에서는 이러한 문제들이 실제 설계 제작 시 이상의 한계치들에 대한 예측의 필요성이 요구 되는바 각기 다른 구조, SIZE 를 대응하기 위한 Stewart 플랫폼의 고찰과 시뮬레이터용 프로그램을 개발과 검증이 필요하다는 점에서 이야기 하고자 한다.
  • 일반적으로 직선과 회전 운동 개념을 갖는 구동 스테이지의 단일 동작의 구동은 복층의 구조적인 복잡함과 쉽게 접근하던 수평보정방법으로 3 축 자유계를 사용하고 있으나, 수평유지, X, Y, O , 회전 등 자유 자재로 구동을 가능한 6 자유도 개념의 운동의 고찰과 실제 활용에 대해 적용해 보고자 한다. 각 축을 다단으로 구성하는 경우 구성품이 많아지고, 그로 인하여 무게가 무거워지는 단점이 있다.
  • 초기설계단계에서의 Stiffness 에 대한 일반적인 고려사항을 알아보자. 상부 plate 위에 중량물이 얹어지므로 가장 먼저 생각해야 할 것은 Heave 에 대한 Stiffness 이다.

가설 설정

  • 1. 각 실린더의 하중은 상부 plate 의 위치에 따라 틀리므로 한계치의 위치상에 하중이 고려 된 설계가 되어야 한다.
  • 2. 플랫폼이 비 가역 상태에 빠지지 않는 점을 고려해야 한다.
  • 3. 하중에 대한 가속능력에 대한 안전율이 고려 되어야 한다.
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