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공초점 자가 간섭 현미경을 이용한 분해능 향상 원문보기

한국반도체및디스플레이장비학회 2006년도 추계학술대회 발표 논문집, 2006 Oct. 12, 2006년, pp.1 - 4  

강동균 (한국과학기술원 기계공학과 Nano Opto-mechatronics 연구실) ,  권대갑 (한국과학기술원 기계공학과 (나노스코프시스템즈㈜))

초록
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공초점 자가 간섭 현미경은 측정 광학계에 복굴절 물질을 사용하여 반사된 빛에 대해 간섭 현상을 일으키는 것을 특징으로 한다. 이 간섭을 자가 간섭이라고 부르는데, 이는 시편의 한 점에서 반사되어 나온 빛이 간섭을 일으키기 때문에 붙여진 이름이다. 공초점 자가 간섭 현미경의 점 확산 함수는 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수와 자가 간섭의 곱으로 나타나며, 자가 간섭의 주기가 종래의 공초점 현미경의 점 확산 함수의 중심폭보다 작은 경우 점 확산 함수의 중심폭이 작아져서 수평 방향으로의 분해능이 향상되게 된다. 이러한 분해능 향상 정도를 측정하기 위하여 지름이 100nm 인 금으로 된 비드를 사용하였다. 측정된 결과는 전산모사한 결과와 잘 일치하며 공초점 자가 간섭 현미경에서 2배의 분해능 향상을 보여준다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • [1] 공초점 자가 간섭 현미경은 반사광에 대해 간섭을 일으켜 수평 방향 분해능을 향상시킨다. 본 논문에서는 공초점 자가 간섭 현미경에서 획득할 수 있는 수평 방향으로의 분해능 향상을 점 물체를 이용하여 실험적으로 검증한다.
  • 본 논문에서는 공초점 자가 간섭 현미경의 수평 분해능 향상을 점 확산 함수의 실험적 측정을 통하여 검증하였다. 측정된 점 확산 함수는 공초점 자가 간섭 현미경을 이용하는 경우 2 배의 분해능 향상이 가능함을 보여주고 있으며, 이론적으로 추정된 결과와도 잘 일치한다.

가설 설정

  • 이를 해결하기 위한 방법으로 공초점 자가 간섭 현미경이 제안된바 있다.[1] 공초점 자가 간섭 현미경은 반사광에 대해 간섭을 일으켜 수평 방향 분해능을 향상시킨다. 본 논문에서는 공초점 자가 간섭 현미경에서 획득할 수 있는 수평 방향으로의 분해능 향상을 점 물체를 이용하여 실험적으로 검증한다.
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