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NTIS 바로가기대한전기학회 1991년도 추계학술대회 논문집 학회본부, 1991 Nov. 22, 1991년, pp.299 - 303
하용민 (한국과학기술원) , 김태성 (한국과학기술원) , 김충기 (한국과학기술원)
A lamp heated LPCVD equipment has been made. Wafer is heated by an array of fifteen tungsten halogen lamps above the front side of a wafer and pyrometer views the back side of the wafer through
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