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NTIS 바로가기대한전기학회 2007년도 심포지엄 논문집 정보 및 제어부문, 2007 Oct. 26, 2007년, pp.283 - 284
정필중 (성균관대학교 정보통신공학부) , 이우람 (성균관대학교 정보통신공학부) , 유관호 (성균관대학교 정보통신공학부)
In this paper we introduce a compensation of nonlinearity Heterodyne laser interferometer. The Laser Interferometer is used for length measurement in various industries. However, it has nonlinearity error caused by the imperfect optical equipment. This acts as an obstacle in the measurement improvem...
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