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NTIS 바로가기대한설비공학회 2008년도 동계학술발표대회 논문집, 2008 Nov. 21, 2008년, pp.452 - 457
김혁순 (서울시립대학교 대학원 기계정보공학과) , 노광철 (연세대학교 기계공학부) , 이영구 ((주)LG Display CR기류팀) , 오명도 (서울시립대학교 기계정보공학과)
We performed a study on the contaminant transfer in a clean space for the location of product and fan filter unit using computational fluid dynamics analysis. To simplify the real product moving process, three different non-moving cases regrading the locations of product were selected: no product, a...
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핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
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클린룸의 환경은 어때야 하는가? | 최근 IT 산업의 발달과 더불어 반도체, LCD등의 전자장치 기술들이 많은 발전을 거듭하였다. 이와 같은 전자 장치 제품을 생산하는 클린룸(cleanroom)에서는 실내에 부유하는 오염물질이 제품에 부착되어 불량을 야기하지 않도록 고청정 환경을 유지해야 한다. | |
클린룸의 형태는 어떤것이 있는가? | LCD 패널의 대형화, 반도체 웨이퍼의 대구경화, 초고집적화, 패턴의 미세화가 추진됨에 따라 청정 환경을 유지하기 위해 클린터널형(clean tunnel module)시스템, 축류팬형(axial fan type, 이하 AFT로 칭함) 시스템, 팬필터유닛형(fan filter unit, 이하 FFU로 칭함) 시스템, 국소환경(mini-environment) 시스템 등 과 같은 다양한 형태의 클린룸이 개발되어 적용 되고 있다. 이러한 초청정 클린룸 공조방식은 그 방식에 따라 제품의 생산 수율과 상당히 밀접한 관계가 있기 때문에 그 중요성이 GIGA급 클린룸 시대를 맞아 더욱 증대되고 있다. | |
이동하는 제품의 비정상상태의 영향을 정상 상태에 대한 해석으로 간편하게 수행하기 위해 제품의 위치에 따른 오염물질의 전파특성을 살펴보기 위한 평가 방법은? | 세정 후 제품 표면의 입자 침착을 최소화하기 위하여 FFU의 배치에 따른 오염물질 전파특성을 관찰하였고, 이동하는 제품의 비정상상태의 영향을 정상 상태에 대한 해석으로 간편하게 수행하기 위하여 제품의 위치에 따른 오염물질의 전파특성도 살펴보았다. 평가 방법으로는 CFD 계산을 통해 구해진 국소평균공기연령, 오염물 농도 등을 이용하였다. |
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