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RF 마그네트론 스퍼터 방법에 의한 다결정 니켈 산화물 박막의 비저항 조절연구 원문보기

한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집, 2010 Feb. 17, 2010년, pp.221 - 221  

김영은 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ,  노영수 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ,  박동희 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ,  이전국 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ,  오영제 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터) ,  김태환 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ,  최원국 (한국과학기술연구원 광.전자 재료센터)

초록
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NiO 산화물 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터 방법로 glass 기판 위에 NiO 온도를 R.T(room temperature)~$400^{\circ}C$ 변화시켜 Ar 가스만을 사용하여 박막을 증착시켜, 증착 온도에 따라 NiO 박막 특성에 미치는 영향을 조사하였다. XRD 측정으로부터 증착된 박막의 결정구조는 $200^{\circ}C$이하에서 (111) 면의 우선 배향성으로 보이다가 $300^{\circ}C$ 이상에서 (220)의 우선 배향성으로 보이는 다결정 입방구조임을 확인하였다. NiO 박막의 전기적 특성의 변화는 기판의 온도가 $200^{\circ}C$까지는 $10^5\;{\Omega}cm$대를 보였고 기판의 온도가 $300^{\circ}C$ 이상에서는 $10^{-2}{\sim}10^{-1}{\Omega}cm$대로 감소하는 것을 관측하였다. 이러한 ${\sim}10^7$ 정도의 큰 저항 변화를 관측하였고, 전기적 변화 특성을 결정성, 결정립의 변화 및 NEXAFS를 통한 밴드 구조 변화 등으로 설명하였다.

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