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[국내논문] 산화물 박막 트랜지스터 동작에 대한 접촉 저항의 영향
Study on contact resistance on the performance of Oxide thin film transistors 원문보기

한국전기전자재료학회 2009년도 춘계학술대회 논문집, 2009 Apr. 03, 2009년, pp.63 - 64  

이재상 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ,  장성필 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단) ,  구상모 (광운대학교 전자재료공학과) ,  이상렬 (한국과학기술연구원 에너지재료연구단)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The TFTs have been fabricated with 3 different geometry SID electrodes which have the same channel W/L ratio (W/L = 5) due to constant channel resistance, The 3 samples have different channel widths (350, 150, and $25\;{\mu}m$) and channel lengths (70, 30, and $5\;{\mu}m$) by f...

AI 본문요약
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문제 정의

  • (3). 따라서 본 연구에서는 ZrO2 게이트 절연막을 이其한 a-IGZO 박막트랜지스터의 특성과 그 동작예 대한 접촉저항의 영향에 굔해서 연구해 보았다.
  • 본 연구에서는 Z「O2 를 게이트 절연막으로 사용한 IGZO TFT가 소자로서 잘 동작 하는 것을 확인할 수 있었고, 접촉 저항에 따른 소자의 on-GU「「ent, Swing, 이동도에 대한 영향을 확인해 보았다. 측정 결과 채널의 폭이 작아짐에 따라, 즉 접촉 저항이 증가함에 따라 on-currents 이동도가 감소하고, 소자의 Swing값이 증가하는 것을 확인 하였다.
  • 채널 W/L에 따른 출력 특성을 나타낸다. 제작된 소자의 채널 W/Le 5:1로 고정되어 있으며, 채널 W/L이 갹각 350 / 70 um, 150 / 30 pm, 25 / 5 μm로 줄어듬에 따라 소스/드레인의 전극 면적이 작아지게 된匚h 결국 채널의 W/Le 일정하기 때문에 채널의 저항은 일정한 상태에서 소스/드레인의 작아지는 전극 면적에 의해 증가되는 접촉 저항만 변화 시켜, 이 접촉 저항이 소자에 어떻게 영향을 미치는지 알아 보았다. 또한 소자에 영향을 미치는 다른 부가적인 영향을 동일하게 적용하기 위해 하나의 칩 위에 3개의 소자를 동시에 제작 하였匚L 그림 2에서 나타난 결과와 같이 Z「6를 게이트 절연막으로 사容한 IGZO TFT는 on/off ratio가 -107 으로 소자로서 잘 동작하는 것을 확인할 수 있다.
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