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고해상도 열영상 구현을 위한 마이크로 볼로미터의 픽셀 구조 및 특성 연구
A Study on the Design of Thermal Isolation of Micro Bolometer Membrane for Thermal Image 원문보기

한국전기전자재료학회 2010년도 하계학술대회 논문집 Vol.11, 2010 June 16, 2010년, pp.200 - 200  

남태진 (극동대학교 에너지반도체학과) ,  이정훈 (극동대학교 에너지반도체학과) ,  정은식 (고려대학교 전기공학과) ,  강태영 ((주)오카스) ,  강이구 (극동대학교 에너지반도체학과)

초록
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열영상의 해상도 증가 시 야기되는 감도저하를 해결하고자 단위 픽셀의 크기를 줄이고 필팩터 향상을 위한 2앵커, 4앵커 구조를 제안하고 앵커 구조에서 Leg 구성물질의 두께변화에 따른 온도 변화 및 열전도도 특성을 실험을 통해 최적화 된 열영상을 구현한다.

AI 본문요약
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성능/효과

  • 단위 픽실을 46um에서 35um로 줄이고 필팩터 향상을 우한 2 앵커, 4앵커 구조를 제안하고 앵커의 Eg 구성 물질인 a-si 와「여 변화롤주어 멤브레인에 대한 온도 변화 및 열전도 도로 분석하여 최적의 값을 도출하고 이를 토대로 필팩터가 우수한 2앵커 구조의 샘풀으가지고 엺영상을 구현하여 그림 2.에 나타난 것과 갍야 a-Si 두別 2000A, Ti 200A 시 가장 우수한 영상을 구현할 수였음을 확인하였다.
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