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Electrodeposition법에 의한 Fe-Ni 나노박막 및 나노선 제조 및 특성
Fabrication and Properties of Fe-Ni Nano Thin Film and Wire by Electrodeposition Method 원문보기

한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7, 2006 June 22, 2006년, pp.557 - 558  

구본급 (한밭대학교) ,  신동율 (한밭대학교) ,  정우람 (한밭대학교) ,  정상옥 ((주)한국반도체소재) ,  김대용 ((주)한국반도체소재) ,  최목련 ((주)한국반도체소재)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

The mechanical properties of micro-hardness and internal stress of Ni-Fe alloy thin film made by electrodeposition method have been measured as a function of bath composition and current density. And also the microstructure of $200{\AA}$ Ni-Fi nanowires made using anodic aluminum oxide(AA...

AI 본문요약
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제안 방법

  • 45의 기공률을 갖고 있는 AAO template] Anodise, Wattman Inc, England)을 이용하여 제조하였다. AAO template 한쪽 면에 전도성을 주기 위하여 seed layei■로서 Au를 스파터링 하였다. 二1런 후 AAO template 를 상온에서 용액에 넣어 Potentiostat/GalvanostatW 이용하여 5, 10, 20mA/cn『의 전류밀도로 60 C의 전하량을 주어 제조하였고, 도금이 끝난 후 AAO template를 5 M NaOH 용액으로 제거하여 나노선을 얻었다.
  • AAO template 한쪽 면에 전도성을 주기 위하여 seed layei■로서 Au를 스파터링 하였다.1런 후 AAO template 를 상온에서 용액에 넣어 Potentiostat/GalvanostatW 이용하여 5, 10, 20mA/cn『의 전류밀도로 60 C의 전하량을 주어 제조하였고, 도금이 끝난 후 AAO template를 5 M NaOH 용액으로 제거하여 나노선을 얻었다. 나노선을 이소프로필알코올에 보관하였고, 초음파 응력에 의한 변형을 관찰하기 위해 초음파 세척기에 넣어 15분에서 900분 까기 초음파 처리하여 초음파 시갼에 따른 나노선의 변형을 전자현미경으로 관찰하여 기계적 성질과의 상관관계를 규명하였다.
  • 二1런 후 AAO template 를 상온에서 용액에 넣어 Potentiostat/GalvanostatW 이용하여 5, 10, 20mA/cn『의 전류밀도로 60 C의 전하량을 주어 제조하였고, 도금이 끝난 후 AAO template를 5 M NaOH 용액으로 제거하여 나노선을 얻었다. 나노선을 이소프로필알코올에 보관하였고, 초음파 응력에 의한 변형을 관찰하기 위해 초음파 세척기에 넣어 15분에서 900분 까기 초음파 처리하여 초음파 시갼에 따른 나노선의 변형을 전자현미경으로 관찰하여 기계적 성질과의 상관관계를 규명하였다.
  • 또한 나노선은 200나노미터의 기공직경과 0.45의 기공률을 갖고 있는 AAO template] Anodise, Wattman Inc, England)을 이용하여 제조하였다. AAO template 한쪽 면에 전도성을 주기 위하여 seed layei■로서 Au를 스파터링 하였다.
  • 본 연구에서는 Fe-Ni 나노박막을 전기화학적 증착법으로 제조하여 박막의 기계적 특성(내무믕력 및 미세경도) 에미치는 용액조성꽈 전류밀도의 영향을 관찰하였고, 또한 Fe-Ni°l 나노선을 AAO template을 이용하여 제조한 후 초음파로 응력을 주어 변형되는 형상과 기계적 특성과의 상관관계를 고찰하여 Fe・Ni의 자기적 응용 뿐 아니라 화학 적응용의 가능성도 함께 고찰하였다.
  • 박막의 제조에는 Specialty Testing & Development사의 PN1194 C나 test strip 을 사용하였다. 먼저 te 마 strip § 산 처리한 후도 그 용액에 넣어 EG&G Princeton Applied Research Potentiostat/Galvanostat, Model 173 을 이용하여 5-20 mA/cn? 전류밀도로 120 C의 전하량울 주어 제조하였다 제조한 박막은 정밀하게 무게의 변화를 측정하여 이를 통해 도금 막의 두께를 측정하였고 strip 사이의 변형을 deposit stress analyzer(Model 683, Special Testing & Development Co.)로 측정하여 내부 응력을 측정하였고, 도금 막의 미세경도를 AKAHSI 사 HM 니23 Microhardness Tester로 측정하였으며 박막의 조성과 미세구조 Z1 리고 상변화롤 SEM과 EDS 및 XRD로 측정하였다.

대상 데이터

  • Fe-Ni 막막과 나노선은 acidic chloride bath를 사 吾 하여 용액을 제조하였다. chloride bath의 基액 조성은 x M FeCh + (1.
  • 제조하였다. chloride bath의 基액 조성은 x M FeCh + (1.5-x) M NiCl2 + 1.0 M CaCl2 + 0.05 M L'ascobic acid를 사용하여 Ni와 Fe이온의 비를 달리 하여 여러 가지 조성의 용액을 제조하였다. 여기서 CaCk는 지지 전해질(s叩porting electrolyte)로 그리고 L'ascobic acid는 용액에서 Fe이온의 산화를 최소화하게하기 위해 첨가된 첨가제이다.
  • 3오로 고정하여 실험하였는데 pH의 조정은 HC과 NaOH로 하였다. 박막의 제조에는 Specialty Testing & Development사의 PN1194 C나 test strip 을 사용하였다. 먼저 te 마 strip § 산 처리한 후도 그 용액에 넣어 EG&G Princeton Applied Research Potentiostat/Galvanostat, Model 173 을 이용하여 5-20 mA/cn?의 전류밀도로 120 C의 전하량울 주어 제조하였다 제조한 박막은 정밀하게 무게의 변화를 측정하여 이를 통해 도금 막의 두께를 측정하였고 strip 사이의 변형을 deposit stress analyzer(Model 683, Special Testing & Development Co.
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