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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7, 2006 June 22, 2006년, pp.430 - 431
Kang, Soo-Hee (Korea Electronics Technology Institute, Yonsei Univ.) , Kim, Yong-Hoon (Korea Electronics Technology Institute) , Han, Jin-Woo (Yonsei Univ.) , Seo, Dae-Shik (Yonsei Univ.) , Han, Jeong-In (Korea Electronics Technology Institute)
This letter reports the fabrication of polycrystalline silicon thin-film transistors (poly-Si TFT) on flexible plastic substrates using amorphous silicon (a-Si) precursor films by sputter deposition. The a-Si films were deposited with mixture gas of argon and helium to minimize the argon incorporati...
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