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저온동시소성 기판용 Cordierite계 세라믹스의 소결거동 및 유전특성
Sintering Behavior and Dielectric Properties of Cordierite Ceramics for LTCC Substrate 원문보기

한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7, 2006 June 22, 2006년, pp.280 - 281  

황일선 (요업(세라믹)기술원) ,  여동훈 (요업(세라믹)기술원) ,  신효순 (요업(세라믹)기술원) ,  김효태 (요업(세라믹)기술원) ,  김종희 (요업(세라믹)기술원)

초록
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Cordierite 결정상을 LTCC공정 적용온도에서 소결하기 위한 glass 조성을 조사하였다. 상용의 glass중 Pb-B-Si-O계, Na-Zn-B-O계 glass를 선택하였고 LTCC용 기판소재로서의 가능성을 확인하기 위하여 저온 동시소성이 가능한 소결온도인 $850^{\circ}C$$1000^{\circ}C$ 사이에서 소재의 소결실험을 진행하였다. 소결조건에 따른 상변화, 유전특성을 확인한 결과 glass상, 결정상, 용융에 의한 glass상으로 상의 변화가 있음을 확인 할 수 있었으며, LTCC 소결 조건에서 Pb-B-Si-O계 glass의 경우 2.9~3.7의 낮은 유전율과 0.0027의 우수한 dielectric loss, 내전압 특성을 가지고 있음을 확인하였다.

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문제 정의

  • 미Cordierite계는 기계적 특성 및 전기절연성이 우수하고 낮은 열팽창 계수와 유전율이 5정도로 낮아 기판재료로서 많은 연구가 이루어지고 있다μ 기본 연구에서는 LTCC 기판 소재로 적용을 위해 1000*001하에서 낮은 유전율값을 가지며 전기적 손실이 적은 조성을 개발하고자한다. 따라서 Cordierite 와 Pb・B~Si・O 계, Na・Zn・B・O계의 glass 조성을 변화하면서 소결온도에 따른 상의 변화叠 XRD률 통해 관찰하고, 그에 따른 유전특성을 측정하여 기판소재로서의 적용가능성을 확인하고자 한다.
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