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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 전자세라믹스 센서 및 박막재료 반도체재료 일렉트렛트 및 응용기술, 2000 Apr. 28, 2000년, pp.1 - 5
윤효섭 (순천향대학교 신소재공학과) , 류근걸 (순천향대학교 신소재공학과)
As the semiconductor devices are miniaturized, the number of the unit cleaning processes increases. In order to processes by conventional RCA cleaning process, the consumption of volume of liquid chemical and DI water became huge. Therefore, the problem of environmental issues are evolved by the inc...
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