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NTIS 바로가기한국해양정보통신학회 2011년도 춘계학술대회, 2011 May 26, 2011년, pp.696 - 698
이은주 (한국과학기술원) , 윤기완 (한국과학기술원)
We present a new method for the fabrication of film bulk acoustic wave resonator (FBAR) devices that exploits the thin piezoelectric ZnO films particularly sputter-deposited in a mixture of N2O and Ar gases as the reactive and sputtering gases, respectively. Some thermal annealing treatments were pe...
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