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다공성 SiC 세라믹 히트싱크 방열성능에 관한 연구
A Study on Thermal Performance of Porous SiC Ceramic Heat Sink 원문보기

한국산학기술학회 2012년도 춘계학술논문집 2부, 2012 May 25, 2012년, pp.762 - 764  

안일용 (공주대학교 대학원 기계공학과) ,  이영림 (공주대학교 기계자동차공학부)

초록
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본 연구에서는 잉곳을 절삭하여 웨이퍼를 만들 때 발생하는 슬러리로부터 SiC를 분리하고, 이를 재생시켜 다공성 SiC 세라믹 히트싱크를 제작하였다. 또한 제작 된 다공성 SiC 세라믹 히트싱크의 열적물성치를 레이저 플래쉬 방법으로 측정하였고 알루미늄 히트싱크와의 비교실험을 통해 다공성 SiC 세라믹 히트싱크의 방열성능을 검증하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 따라서 본 연구에서는 실리콘 잉곳을 잘라 웨이퍼를 만들때 발생하는 SiC 슬러리를 재생시켜 만든 다공성 재생 SiC 세라믹 히트싱크를 제작하였다. 또한, 레이저 플래쉬 방법을 이용하여 열 물성치를 측정하였고 알루미늄 히트싱크와 방열성능 비교 실험을 수행하였다.
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