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유기박막트랜지스터를 위한 극초단 펄스 레이저 마이크로-나노 패터닝 원문보기

한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집, 2016 Feb. 17, 2016년, pp.271 - 271  

조정형 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ,  채상민 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ,  김용휘 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ,  이아라 (부산대학교 유기소재시스템공학과) ,  이현휘 (포항가속기연구소) ,  최지연 (한국기계연구원 광응용기계연구실) ,  김효정 (부산대학교 유기소재시스템공학과)

초록
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highly doped N-type 실리콘 기판 위에 극초단 펄스 레이저를 이용하여 LIPSS (Laser-Induced Periodic Surface Structure) 패턴을 형성하였다. 형성된 LIPSS 구조는 $15{\mu}m$와 500 nm 주기를 가지는 ripple로 형성이 되었고 이 구조를 형성하기 위해서 사용된 레이저는 Satsuma HP2, Amplitude syst?mes 이다. LIPSS 패턴을 가지는 기판 위에는 유기반도체 물질인 pentacene을 50 nm로 열 증착방법을 통해 박막을 형성하여 유기박막트랜지스터를 제작하였고, hole mobility를 측정하였다. LIPSS 패턴을 가지는 실리콘 기판과 pristine 실리콘 기판 위의 pentacene의 morphology를 AFM으로 관찰하고 유도된 구조를 연구하였다.

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