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문제 정의
- 다이아몬드와 같은 sp3 결합을 가지며 경도가 우수한 입방정 질화붕소(cBN)는 낮은 증착온도라는 공정상의 장점에도 불구하고 스퍼터링 법으로 박막을 증착할 경우, 상합성중 발생되는 높은 잔류응력 때문에 모재와의 밀착력에 문제가 발생하여 그 응용이 제한되어져 왔다. 본 연구에서는 아르곤-질소를 반응가스로 이용하여 스퍼터링 법으로 증착한 질화붕소에서 압축 잔류응력 형성에 기여하는 인자를 분석하고, 이를 줄이기 위한 방법으로 수초 첨가 효과에 대해 고찰하고자 한다.
- RBS(Rutherford backscattering spectrometry)를 이용한 분석을 통해 박막 내에 잔류하고 있는 Ar 양을 측정해본 결과, 수소를 첨가했을 경우 그 양이 크게 줄어들어 있음을 확인하였다. 이로부터 질화붕소내의 압축잔류응력을 유발시키는 인자로 증착시 박막 내에 혼입되는 Ar 원자를 제시하고자 한다.
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