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NTIS 바로가기한국표면공학회 2015년도 추계학술대회 논문집, 2015 Nov. 26, 2015년, pp.304 - 304
신민호 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실) , 박영배 (국립안동대학교 신소재공학부 청정에너지소재기술연구센터) , 김도근 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실)
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