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아크릴 측쇄에 의한 초박형 웨이퍼 표면에서의 젖음성 변화
Variation of wettability on thin wafer surface by side chain of acrylic adhesives 원문보기

한국정밀공학회 2010년도 춘계학술대회 논문집, 2010 May 26, 2010년, pp.651 - 652  

유종민 (충남대학교 공업화학과) ,  김형일 (충남대학교 공업화학과) ,  남영희 (충남대학교 공업화학과) ,  이승현 (충남대학교 공업화학과) ,  김현중 (서울대학교 환경재료과학과) ,  김경만 (한국화학연구원 에너지소재센터) ,  이충희 (한국화학연구원 에너지소재센터) ,  이호연 (한국화학연구원 에너지소재센터)

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제안 방법

  • 2-EHA:EA의 조성을 50:50 비율로 하고, AA의 조성은 2-EHA와 EA 단량체 전체량에 대해 20 phr로 고정하였다. 이들 단량체 120 g과 AIBN 0.
  • 점착제로 코팅된 PET 필름을 가로 × 세로 (5cm × 5cm) 크기로 자른 뒤 웨이퍼 표면에서 전체 필름의 젖음이 완결되는 시간으로 젖음성을 측정하였다. Probe tack은 Texture Analyzer (TA-XT2i, Micro Stable Systems, UK)를 이용하여 5 mm의 stainless steel cylindrical probe를 이용하여 측정하였다. Peel strength는 점착필름을 stainless steel 기재에 부착한 후, 2 kg의 고무롤러를 두 번 통과시키고 상온에서 1시간 방치한 후 측정하였다.
  • 박리 속도는 상온에서 300 mm/min이었다. SAFT (shear adhesion failure temperature)는 점착필름을 stainless steel 기재에 대해 2 kg 고무롤러를 두 번 통과시키고 2 kg의 무게를 가하여 0.4℃/min의 속도로 온도를 상승시키면서 점착제의파괴가 일어날 때의 온도로 측정하였다.
  • 본 연구에서는 아크릴계 단량체들의 부가반응을 통하여 측쇄길이를 변화시켜 고분자 주쇄의 유연성을 조절한 아크릴공중합체를 합성하였다. 이러한 아크릴공중합체를 바탕으로 점착제를 제조하고 이를 초박형 웨이퍼용 다이싱 테이프에 적용하면서 아크릴공중합체의 측쇄길이가 젖음성의 변화에 미치는 영향과 가교밀도에 따른 점착물성의 변화를 살펴보았다.
  • 본 연구에서는 아크릴계 단량체들의 부가반응을 통하여 측쇄길이를 변화시켜 고분자 주쇄의 유연성을 조절한 아크릴공중합체를 합성하였다. 이러한 아크릴공중합체를 바탕으로 점착제를 제조하고 이를 초박형 웨이퍼용 다이싱 테이프에 적용하면서 아크릴공중합체의 측쇄길이가 젖음성의 변화에 미치는 영향과 가교밀도에 따른 점착물성의 변화를 살펴보았다.
  • 5 g을 추가로 넣고, 3시간 30분 동안 반응을 지속시켰다. 이렇게 제조된 공중합체에 관능성 단량체 LGE를 AA 대비 각각 0.5 , 0.7 , 0.9M을 넣고 70 ℃로 가열하여 11시간동안 반응시키고, 가교제인 Tetra-DX를 다양한 비율로 블렌드하여 점착제를 제조하였다.
  • 점착제로 코팅된 PET 필름을 가로 × 세로 (5cm × 5cm) 크기로 자른 뒤 웨이퍼 표면에서 전체 필름의 젖음이 완결되는 시간으로 젖음성을 측정하였다.

대상 데이터

  • 아크릴공중합체 합성을 위해 사용된 단량체는 2-ethylhexyl acrylate (2-EHA, Samchun Pure Chemical, Korea), ethyl acrylate (EA, Samchun Pure Chemical, Korea), acrylic acid (AA, LG Chemical, Korea)이고, 용제로는 ethyl acetate (EAc, Samchun Pure Chemical, Korea)가 사용되었고, 개시제로는 2,2'-azobisisobutyronitrile (AIBN, Junsei Chemical, Japan)이 사용되었으며, 에폭시계 가교제는 Tetra-DX (N,N,N,N-tetra glycidyl m-xylene diamine, Nippon Polyurethane, Japan)가 사용되었다. 부가반응을 통한 점착제 제조용 관능성 단량체는 lauryl glycidyl ether(LGE, Junsei Chemical, Japan)를 사용하였다.
  • 아크릴공중합체 합성을 위해 사용된 단량체는 2-ethylhexyl acrylate (2-EHA, Samchun Pure Chemical, Korea), ethyl acrylate (EA, Samchun Pure Chemical, Korea), acrylic acid (AA, LG Chemical, Korea)이고, 용제로는 ethyl acetate (EAc, Samchun Pure Chemical, Korea)가 사용되었고, 개시제로는 2,2'-azobisisobutyronitrile (AIBN, Junsei Chemical, Japan)이 사용되었으며, 에폭시계 가교제는 Tetra-DX (N,N,N,N-tetra glycidyl m-xylene diamine, Nippon Polyurethane, Japan)가 사용되었다.
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