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문제 정의
- 본 연구에서는 유연한 성질을 갖는 폴리머 기반의 새로운 마이크로 4단자 탐침 구조체를 제안하고 제작에 필요한 공정 최적화 연구를 수행하였다. 4각 형태의 4단자 탐침 형상을 통해 측정할 수 있는 면적의 감소로 측정범위를 향상시키고, 소자와 프로브 간의 접촉 시 발생될 수 있는 기계적 마모를 최소화하기 위해 영률이 낮은 폴리머를사용하였으며, 스프링 형식의 캔틸레버 구조체를 설계함으로서 불균일한 표면을 갖는 소자도 측정이 가능한 구조체를 제안하였다.
- Spray coating 방법을 이용 하여 패턴된 전극 모양을 바탕으로 금속 식각 공정을 거쳐 전극을 형성한 후 도금 공정을 위한 지지대형성 작업을 수행한다. 지지대 형성의 필요성은 Cu 도금 박막과 SU-8간의 접착성이 좋지 않기 때문에 이를 보완하고자 제안한 방법이다. 그림 4와같이 버섯모양의 Cu 도금을 형성하여 SU-8 물질이 지지대를 감싸 서로간의 접착성이 좋지 않는 부분을 보완해 주는 역할을 수행한다.
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