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NTIS 바로가기국가/구분 | 일본특허청(JP) 공개특허 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | JP-0080889 (2009-03-30) |
공개번호 | JP-0229529 (2010-10-14) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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PROBLEM TO BE SOLVED: To secure shield and contact of a joint of an RF route, in an RF sputtering device in which a cathode is independently opened and closed. SOLUTION: The RF sputtering device includes: a sputter chamber; an RF power transferring means which has an RF output terminal covered with
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