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NTIS 바로가기국가/구분 | 일본특허청(JP) 공개특허 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | 2018068503 (2018-03-30) |
공개번호 | 2019178961 (2019-10-17) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a ceramic substrate for a probe card having a high adhesion strength to the ceramic substrate even when a thin film layer formation by a wet method is used, and provide a technology related to a space transformer.SOLUTION: A space transformer includes: a ceramic subs
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