선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-1991-0001374 (1991-01-26) |
공개번호 | 10-1991-0014309 (1991-08-31) |
공고번호 | 10-0067375-0000 (1993-08-10) |
등록번호 | 10-0067375-0000 (1993-11-08) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1019910001374 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (1991-03-18) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
반도체 제조공정에서 발생하는 불소화합물을 함유한 에칭폐액으로부터 불화수소암모늄 또는 불화암모늄을 회수하는 방법에 관한 것이다.불소화합물을 함유한 에칭폐액에 불화수소산 또는 암모니아를 첨가하여 불화수소암모늄 용액을 생성시킨다음, 농축 또는 냉각하여 불화수소암모늄을 결정석출시켜 고액분리에 의해 불화수소암모늄을 결정으로 회수한다. 수득된 결정 불화수소암모늄을 물에 용해시키고, 암모를 혼합한 후 60도C 이하에서 농축하여 결정불화암모늄을 얻을 수 있다.
불소화합물을 함유하는 에칭폐액에 불화수소산 및/또는 암모니아를 첨가하여 불화수소암모늄용액을 생성시키는 것을 특징으로 하는 불소화합물을 함유한 에칭폐액의 처리방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.