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연합인증

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불소계 에칭용액 제조시에 발생되는 폐수로부터 고순도불화물을 제조하는 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C01B-009/08
출원번호 10-1999-0048747 (1999-11-05)
공개번호 10-2001-0045452 (2001-06-05)
등록번호 10-0352080-0000 (2002-08-27)
DOI http://doi.org/10.8080/1019990048747
발명자 / 주소
  • 노재성 / 대전광역시서구월평동누리아파트***-***
  • 이병기 / 대전광역시 서구 월평동 ***-***
  • 채정하 / 대전광역시동구용운동***-*
  • 김도수 / 대전광역시서구월평동***번지
  • 이범재 / 대전광역시유성구신성동***번지럭키하나아파트***-****
  • 김종규 / 대전광역시서구만년동*-*강변아파트***-****
출원인 / 주소
  • 노재성 / 대전 유성구 지족동 열매마을*단지 ***동 ***호
대리인 / 주소
  • 장성구; 오규환 (JANG, Seong Ku)
  • 서울시 서초구 양재동 ***-* 트러스트타워**층(제일광장특허법률사무소); 서울 종로구 수송동 코리안리재보험빌딩*층(법무법인중앙)
심사청구여부 있음 (1999-11-05)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 반도체에 사용되는 불소계 에칭용액 제조시에 발생되는 불화수소산 및/또는 불화암모늄을 함유하는 폐수로부터 고순도의 불화금속화합물을 제조하는 방법에 관한 것으로, 본 발명의 방법에 따르면, 에칭용액 제조시에 부생되는 불화수소산(HF), 불화암모늄(NH4F) 등을 함유하는 폐수를 이용하여 산업적으로 유용한 불화물인 LiF, LiBF4, CoF2, MgF2, LiBF4, CaF2 등을 고순도로 제조할 수 있다.

대표청구항

불소계 에칭용액 제조시에 발생되는 불화수소산 및/또는 불화암모늄을 함유하는 폐수를, LiOH, LiCl, Li2CO3, H3BO3, CoSO4, MgCO3, Mg(OH)2, MgCl2, CaCO3, CaCl2 및 Ca(OH)2으로 이루어진 군으로부터 선택된 금속원과 25 내지 100℃에서, 10분 내지 2시간 동안 반응시킨 후, 생성된 침전물을 여과하고 건조시켜 불화금속염을 제조하는 방법.

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